etwas

et + was | Indef.pron. ‘irgendeine nicht näher bestimmte Sache’ (umgangssprachlich häufig verkürzt zu was) sowie ‘kleiner Teil von einer größeren Menge, ein wenig’, in diesem Sinne auch ustwl. gebraucht (‘in geringem Maße’), ahd. eddes(h)waʒ  (8. Jh.), edde(h)waʒ (um 1000), mhd. et(e)waʒ, eteswaʒ, mnd. ettewat ‘irgend etwas’,

als Ustw.. ahd. ‘irgendwie’ (Otfrid),ahd. und mhd. ‘ein wenig’, ist Neutr. des Indef.pron. ahd. eddes(h)wer, edde(h)wer, mhd.et(e)wer, eteswer, frühnhd. etwer (später noch in obd. Mundarten) ‘irgend jemand’, bestehend aus dem Bildungselement ahd. edde(s)- (s. etlich)

und dem Fragepronomen ahd. (h)wer,(h)waʒ (s. wer, was).

Die heute veraltete adverbielle Fügung in etwas ‘in gewissem Maße, ein wenig’ wird Mitte des 17. Jhs. üblich. Seit Ende des 17. Jhs. findet sich die Hptwbg. Etwas.